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晶圆支架包括I型5.0英寸φ

晶圆支架包括I型5.0英寸φ

使用晶圆支架手柄,I型5.0英寸φ[功能]●与晶片接触的支架由荧光素PTFE制成,具有极好的耐化学性和耐热性,并防止板上刮擦。

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●与晶圆接触的保持部分是由氟雷素PTFE制成的,该PTFE具有出色的耐化学性和耐热性,并防止了板上的刮擦。